气体报警器有力辅助半导体生产加工
精密气体输送是半导体制造的核心。许多不同的气体——腐蚀性气体、反应性气体和惰性气体——以不同的流速被输送到处理室，以在用于制造逻辑和存储芯片的硅晶片上产生关键特征。这些气体统称为电子特种气体 (ESG)，还可用于制造太阳能电池和平板，包括液晶显示器 (LCD) 和发光二极管 (LED)。不仅需要以精准的数量和出色的可重复性输送，而且还需要严格的纯度水平，更加需要气体报警器设备进行泄漏检测，欣安电子气体报警器辅助提高半导体生产效率及安全生产。
当今半导体制造中使用了 100 多种气体，主要用于干蚀刻（电介质、导体和多晶硅蚀刻）、化学气相沉积（电介质和金属沉积）、扩散和离子注入。 一些特殊气体，例如化学气相沉积过程中常用的硅烷，还会与空气或氧气和水分发生剧烈反应，导致气体输送系统的流体流路中形成二氧化硅粉尘。
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